產品性能和特點:
1、耐高溫、高密度、高致密性;
2、純度高,雜質含量<5PPM;
3、高溫下對氨氣、氫氣具有化學惰性,熱穩定性好。
產品主要用途:
■ 外延生長
■ 晶體生長
■ 高溫熱腐蝕導流筒
■ 耐高溫和抗氧化噴嘴
高純SiC涂層